德州有研“18英寸硅单晶及部件全国首次成功投产”入选2020年度山东“十大科技成果”|德州云-德州晚报全媒体

4月15日,2020年度山东“十大科技成果”“十大科技新闻”揭晓。我市山东有研半导体材料有限公司“18英寸硅单晶及部件全国首次成功投产”上榜。

大规格高纯硅单晶是先进半导体设备的核心部件材料,是纳米级半导体制程良率的重要保障。经过4年的研发,国家重点研发计划“大尺寸高纯稀有金属制品制备技术”结出丰硕成果,山东有研半导体材料有限公司成功攻克大规格高纯硅单晶技术,并在德州经济技术开发区实现成果转化,填补了省内空白。

资料图

该成果立足于自主创新,形成了独特的加热装置、单晶信号检测方案、收尾控制方法、位错缺陷判断装置、温度闭环控制等手段,有效解决了大规格单晶生长过程热应力、固液界面稳定性、氧含量、纯度、典型缺陷及电阻率控制等问题,达到全球领先水平,形成20余系列产品,全覆盖客户端需求,长成单晶直径达到18英寸(即450mm),为全球最大硅单晶尺寸,纯度可到11N。产品为美国、日本、韩国所有硅部件厂商采用,安装于泛林、东京电子等顶尖半导体设备厂商的刻蚀机产品中,并在台积电等产线中使用。随着半导体产业的高速发展以及半导体制程日趋微细化,大规格高纯硅单晶及精密硅部件的需求将快速增长,该成果市场前景广阔,2020年全年形成销售额2.32亿元,2021年预计销售额约4亿元。



热门排行